Методы повышения чувствительности фоточувствительных приборов с переносом заряда с освещением со стороны подложки
Рассмотрены основные методы сенсибилизации фоточувствительной поверхности фоточувствительных при-боров с переносом заряда с освещением со стороны подложки. Подробно рассмотрены преимущества и не-достатки каждого метода с учетом особенностей технологии производства фоточувствительных приборов с переносом заряда.
Авторы: Е. Г. Лобанова
Направление: Физика твердого тела и электроника
Ключевые слова: Фоточувствительный прибор с переносом заряда, сенсибилизация, хемосорбция, ионное легирование, лазерный отжиг, молекулярно-лучевая эпитаксия
Открыть полный текст статьи