Моделирование реактивного распыления. Основные принципы
Цель данной статьи состоит в описании основных принципов, опыт использования которых при моделировании различных физико-химических процессов показал свою эффективность. При этом модель процесса определена как его представление с помощью другого схожего (или тождественного) процесса, построенного на ряде упрощающих допущений. Эта модель названа физико-химической. Выделены основные явления на поверхностях и в газовой среде системы распыления, которые используют при составлении моделей реактивного распыления. Дана схема вывода системы уравнений, описывающих модель в аналитической форме. Приведен пример моделирования на основе неизотермической поверхностной химической реакции, который показал возможность изучать экспериментально неизмеримые зависимости, характеризующие процесс реактивного распыления.
Авторы: В. И. Шаповалов
Направление: Физика
Ключевые слова: реактивное распыление, модель, хемосорбция, имплантация, диффузия, поверхностная химическая реакция, испарение, термоэлектронная эмиссия, адекватность модели
Открыть полный текст статьи