Исследование влияния элементного состава покрытий системы Al–Si–N на их механические и оптические свойства

Рассмотрены закономерности формирования нанокомпозитной структуры Si₃N₄–AlN и твердого раствора Al_1–xSi_xN в диаграмме состояния покрытий системы Al–Si–N. Представлен литературный обзор по определению элементного состава покрытий системы Al–Si–N, имеющих отличные механические и оптические характеристики. Полученные данные о прозрачных упрочняющих покрытиях системы Al–Si–N сопоставлены с диаграммой состояния. Определены интересующие интервалы концентрации компонентов покрытий для экспериментов, цель которых заключается в воспроизводимом получении высококачественных покрытий системы Al–Si–N с заданными высокими прочностью и прозрачностью.

Авторы: У Шаша, С. П. Бычков

Направление: Физика

Ключевые слова: диаграмма состояния, покрытия системы Al–Si–N, нанокомпозитная структура, твердый раствор Al_1–xSi_xN

---

Открыть полный текст статьи