Влияние ловушек на накопление подвижного заряда в МОП-структурах при термополевых обработках
Разработана количественная модель влияния ловушек на параметры миграции подвижного заряда в подзатворном диэлектрике МОП-структур. Рассчитаны зависимости эффективных коэффициентов диффузии и энергии активации от концентрации ловушек, энергии связи ловушек с ионами, концентрации примеси и температуры термополевой обработки. Показано, что с увеличением концентрации ловушек накопление подвижного заряда вблизи межфазной границы Si-SiO2 замедляется. С помощью представленной модели можно объяснить разброс в экспериментальных данных по диффузии ионов натрия в диоксиде кремния.
Авторы: О. В. Александров, Н. Н. Морозов
Направление: Физика
Ключевые слова: МОП-структура, подзатворный диэлектрик, подвижный ионный заряд, диффузия, термополевая обработка
Открыть полный текст статьи