Моделирование процесса лазерной обработки структуры пленка–сапфир

Рассмотрена методика исследования процессов лазерной обработки структуры пленка–сапфир с использованием методов численного моделирования, в частности метода конечных элементов. Разработана модель процессов лазерной обработки структуры пленка–сапфир, позволяющая анализировать распределение температуры на поверхности структуры пленка–сапфир при разной скорости сканирования лазерного луча. Моделирование процесса лазерной обработки проводилось с помощью системы ANSYS.

Авторы: С. П. Малюков, Ю. В. Клунникова, Т. Х. Буй

Направление: Физическая электроника и технологии микро- и наноструктур

Ключевые слова: Структура пленка–сапфир, лазерная обработка, численное моделирование


Открыть полный текст статьи