Исследование влияния технологических параметров на морфологию поверхности пористого кремния

Рассмотрены свойства пористого кремния применительно к биомедицине, получение порошков пористого кремния методом электрохимического анодного травления, а также влияние технологических параметров этого процесса на морфологию получаемых частиц.

Авторы: К. А. Беспалова, А. О. Белорус, Л. В. Шайдаров, А. В. Третьяков

Направление: Физическая электроника и технологии микро- и наноструктур

Ключевые слова: Пористые наноматериалы, пористый кремний, нанопорошки, биомедицина, электрохимическое травление, локальная доставка лекарств


Открыть полный текст статьи