Исследование влияния технологических параметров на морфологию поверхности пористого кремния
Рассмотрены свойства пористого кремния применительно к биомедицине, получение порошков пористого кремния методом электрохимического анодного травления, а также влияние технологических параметров этого процесса на морфологию получаемых частиц.
Авторы: К. А. Беспалова, А. О. Белорус, Л. В. Шайдаров, А. В. Третьяков
Направление: Физическая электроника и технологии микро- и наноструктур
Ключевые слова: Пористые наноматериалы, пористый кремний, нанопорошки, биомедицина, электрохимическое травление, локальная доставка лекарств
Открыть полный текст статьи