Фазовый анализ тонких сегнетоэлектрических пленок Рb(Zr, Ti)O3 методом дифракции отраженных электронов
Методом дифракции отраженных электронов проведен анализ фазового состава тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных по двухстадийной технологии (ВЧ магнетронное распыление керамической мишени и последующий высокотемпературный отжиг), в зависимости от технологических условий и температуры термообработки.
Авторы: В. П. Пронин, А. Г. Канарейкин, И. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, В. Т. Барченко, Д. К. Кострин
Направление: Физические явления в твердых телах, жидкостях и газах
Ключевые слова: Тонкие пленки PZT, дифракция отраженных электронов, морфотропная фазовая граница, моноклинная фаза
Открыть полный текст статьи