Исследование предельного остаточного давления вакуумных насосов, применяемых в производстве изделий электроники
Представлены экспериментальные зависимости получения вакуума и определены значения предельного остаточного давления безмасляного спирального вакуумного насоса. Построены зависимости предельного остаточного давления от частоты вращения спирали. Показано, что время работы насоса, рекомендованное в ГОСТ Р54807–2011 для фиксации остаточного давления, недостаточно, что связано с длительными процессами обезгаживания и выхода насоса на стационарный режим, включая тепловую стабилизацию зазоров и внутренних перетеканий.
Авторы: С. И. Саликеев, А. В. Бурмистров, А. В. Тюрин, С. М. Пузанков
Направление: Физическая электроника и технологии микро- и наноструктур
Ключевые слова: Спиральный вакуумный насос, остаточное давление, обезгаживание, тепловая стабилизация
Открыть полный текст статьи