Моделирование процессов лазерной обработки неорганического стекловидного диэлектрика
Рассмотрена методика исследования процессов лазерной обработки неорганического стекловидного диэлектрика для элементов микросистемной техники с использованием методов численного моделирования, в частности метода конечных элементов. Разработана модель процессов лазерной обработки стекловидного диэлектрика, позволяющая анализировать распределение температуры на поверхности боросиликатного стекла при разной скорости сканирования лазерного луча. Моделирование процесса лазерной обработки проводилось в системе анализа ANSYS.
Авторы: С. П. Малюков, Ю. В. Клунникова, Т. Х. Буй
Направление: Физические явления в твердых телах, жидкостях и газах
Ключевые слова: Неорганический стекловидный диэлектрик, лазерная обработка, численное моделирование
Открыть полный текст статьи