Исследование процессов лазерной обработки материалов для микроэлектроники
Исследование взаимодействия лазерного излучения с веществом является одним из актуальных направлений науки и техники. Комплекс лазерного оборудования LIMO (Германия) позволяет проводить широкий спектр исследований по воздействию лазерного излучения на объекты. Обоснован выбор мощности лазера и времени воздействия лазерного излучения. Исследования проводились в Научно-образо¬вательном центре «Лазерные технологии» Института нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета и в Институте органической химии им. Н. Д. Зелинского Российской академии наук (Москва).
Авторы: С. П. Малюков, Ю. В. Клунникова, А. В. Саенко
Направление: Физика твердого тела и электроника
Ключевые слова: Лазерные технологии, электронная микроскопия, монокристаллы сапфира, инфракрасный диапазон
Открыть полный текст статьи