Автоматический поиск положения спектральных линий при анализе спектров излучения плазмы
Рассмотрены требования, выдвигаемые к алгоритмам поиска спектральных линий при анализе спектров плазмы. Приведены результаты работы двух быстродействующих методов поиска с помощью тестового программного обеспечения. Показана возможность применения полученных результатов для анализа состава плазмы при контроле технологических процессов.
Авторы: Д. К. Кострин
Направление: Физика твердого тела и электроника
Ключевые слова: Спектральная линия, оптический спектр, спектрометр, излучение плазмы
Открыть полный текст статьи