Автоматический поиск положения спектральных линий при анализе спектров излучения плазмы

Рассмотрены требования, выдвигаемые к алгоритмам поиска спектральных линий при анализе спектров плазмы. Приведены результаты работы двух быстродействующих методов поиска с помощью тестового программного обеспечения. Показана возможность применения полученных результатов для анализа состава плазмы при контроле технологических процессов.

Авторы: Д. К. Кострин

Направление: Физика твердого тела и электроника

Ключевые слова: Спектральная линия, оптический спектр, спектрометр, излучение плазмы


Открыть полный текст статьи