Применение кварцевого корпусирования для упаковки микромеханических акселерометров на поверхностных акустических волнах
Рассматривается применение технологии кварцевого корпусирования для улучшения характеристик микромеханических акселерометров (ММА) на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Исследуются возможности лазерной подстройки частоты ПАВ-резонатора в герметизированном устройстве и одновременного нанесения резонаторных структур на противоположные стороны консоли с помощью системы прецизионной лазерной маркировки.
Авторы: Д. П. Лукьянов, С. Ю. Шевченко, Е. П. Филиппова, А. С. Кукаев, Д. В. Сафронов, А. В. Иванов
Направление: Приборостроение и информационные технологии
Ключевые слова: Кварцевое корпусирование, поверхностная акустическая волна, микромеханический акселерометр, лазерная подстройка частоты
Открыть полный текст статьи