Исследование разряда при высокомощном импульсном магнетронном распылении титановой мишени
Экспериментально изучен разряд в среде аргона при высокомощном импульсном магнетроном распылении титановой мишени с целью выявления количественного влияния на напряжение разряда независимых переменных (факторов). К ним были отнесены давление аргона, ток разряда, длительность и частота следования импульсов. Новизна заключается в применении тактики активного эксперимента. План эксперимента был составлен в предположении о том, что математическую модель, описывающую влияние выделенных факторов в относительно узкой области изменения факторов, можно представить в форме полинома первого порядка. Для модели этого типа каждый фактор в эксперименте достаточно было изменять на двух уровнях. Эксперименты выполнены на сбалансированном цилиндрическом магнетроне. При этом использован план дробного факторного эксперимента типа 24–1, содержащего восемь различных опытов. С помощью полученной адекватной модели был детально исследован разряд. В частности, установлено влияние каждого из выделенных факторов на напряжение разряда, мощность и энергию в импульсе при постоянных значениях других факторов. В качестве дополнительного фактора была введена скважность (коэффициент заполнения) импульсов.
Авторы: В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, А В. Николаев
Направление: Физика
Ключевые слова: магнетронное распыление, планирование эксперимента, полный факторный эксперимент, дробный факторный эксперимент, мишень магнетрона, модель, полином, титан
Открыть полный текст статьи