Магнетрон для осаждения пленок четырехкомпонентного сплава
Цель данной статьи состоит в изучении нового варианта многослойной мишени, установленной на сбалансированный магнетрон и предназначенной для синтеза пленки четырехкомпонентного эквиатомного сплава. Распыляемая область мишени имеет форму кольца с внутренним и внешним радиусами R01, R02 соответственно. Мишень состоит из четырех распыляемых металлических пластин, установленных на одной оси с магнетроном. Внутренняя сплошная распыляемая металлическая пластина служит холодильником, две средние и внешняя выполнены из других металлов и представляют собой кольца с внутренними радиусами R2, R3 и R4 соответственно. Из условия эквиатомности сплава получена система уравнений для вычисления этих радиусов. Изложение иллюстрируется примером с мишенью, предназначенной для осаждения пленки сплава TiTaNbMo.
Авторы: В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, Д. К. Зефания, А. В. Николаев
Направление: Физика
Ключевые слова: эквиатомный сплав, пленка, магнетронное распыление, многослойная мишень, титан, тантал, ниобий, молибден
Открыть полный текст статьи