Экспериментально-теоретическое исследование теплового процесса при распылении горячей титановой мишени
Цель исследований, отраженных в статье, – исследование теплового процесса, приводящего к нагреванию подложки, при магнетронном распылении двухслойной мишени в аргоне. Внешняя титановая пластина, распыляемая потоком ионов аргона, работая в горячем режиме, могла быть нагрета вплоть до температуры плавления. Внутренняя медная пластина, охлаждаемая проточной водой, служила холодильником. Выполнены измерения кинетики нагревания подложки при разной мощности разряда магнетрона и моделирование теплового процесса на мишени. Для измерений использован термопарный датчик. Моделирование проводилось с помощью пакета COMSOL Multiphysics и позволило установить неравномерность температуры поверхности внешней пластины. Анализ результатов позволил выделить область внешней пластины, наиболее значимо влияющую на нагревание подложки, и установить зависимость эффективной температуры внешней пластины от мощности разряда.
Авторы: В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, Д. И. Беленко
Направление: Физика
Ключевые слова: магнетрон, горячая мишень, титан, вольтамперная характеристика, термоэлектронная эмиссия, тлеющий разряд, дуговой разряд
Открыть полный текст статьи