Разработка методики контроля структуры фотодиодных кремниевых мишеней для телевизионных трубок
Цель данной статьи состоит в разработке новой методики контроля кремниевых мишеней для трудно идентифицируемых дефектов. В исследовании решалась проблема брака в виде большого белого пятна на изображении с помощью рентгеноструктурного анализа. В ходе работы были выявлены деформации подложки, вызванные некорректно проводимой операцией по запрессовке мишени в трубку, что вызвало механические напряжения, способствовавшие повышению концентрации центров генерации носителей заряда. Также была выявлена альтернативная причина возникновения подобного дефекта – разные коэффициенты расширения вышележащих слоев кремниевой подложки, в результате чего они «растягивают» ее, приводя структуру к искажениям.
Авторы: А. А. Соколова, В. Д. Андреева, В. В. Давыдов, Д. С. Проводин, А. Э. Ким
Направление: Физика
Ключевые слова: кремниевая мишень, рентгеновская дифракция, механические напряжения
Открыть полный текст статьи