Анализ свойств алмазоподобных углеродных покрытий, полученных методом импульсного магнетронного распыления
Проанализированы образование аморфных алмазоподобных углеродных покрытий и условия содержания sp3-гибридной фракции углерода в алмазоподобных углеродных пленках (DLC) методом ионно-плазменного распыления графитовой мишени. Приведены сравнения с результатами нанесения тонких покрытий на кремниевые образцы из оксида алюминия методом высокомощного импульсного магнетронного распыления постоянной мощности при различных режимах в вакуумной камере. Методами сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии изучено строение полученных покрытий. Установлена зависимость характеристик углеродных покрытий от основных параметров, определяющих режимы осаждения.
Авторы: Мьо Ти Ха, Лю Хаоцэ, Ли Чунцун, Л. Л. Колесник
Направление: Физика
Ключевые слова: алмазоподобные углеродные покрытия, высокомощное импульсное магнетронное распыление (HiPIMS), sp2-, sp3-гибридизация, высокий и сверхвысокий вакуум, напряжение разрядное, графит
Открыть полный текст статьи