Оптимизация неравномерности магнетронного напыления пленок алюминия и оксида алюминия при взаимном перемещении подложки и магнетрона
Нанесение оптических покрытий на изделия относительно больших габаритов является актуальной задачей в производстве оптических приборов. В работе рассматривается способ получения покрытия из алюминия и оксидов алюминия на оптические детали диаметром до 300 мм. Для решения данной задачи была применена система с взаимным перемещением пластины и магнетрона с мишенью диаметром 100 мм. Такие системы требуют определенных алгоритмов движения. Алгоритмы должны позволять получать хорошую равномерность покрытия на изделиях. Моделирование и выбор алгоритма перемещения магнетрона относительно подложки служат основной целью данной статьи. Экспериментальная часть исследований выполнялась на установке M-Ray, применяемой для напыления на плоские подложки размерами до 300 × 300 мм. Для моделирования были применены такие инструменты, как CAD, система Компас 3D и Microsoft Excel. В результате моделирования был подобран алгоритм перемещения магнетрона. Данный алгоритм позволил получить пленки алюминия с хорошей неравномерностью по толщине и оптическим параметрам. В целом метод позволил определить, как необходимо перемещать магнетрон для достижения хорошей равномерности покрытия. Но следует отметить, что метод не учитывает ряд дополнительных факторов, влияющих на неравномерность напыляемой пленки.
Авторы: В. И. Черкунов
Направление: Физика
Ключевые слова: магнетронное напыление, моделирование неравномерности напыления, управление, автоматизация, магнетрон, физическое осаждение из паровой фазы, оптические покрытия
Открыть полный текст статьи