Применение систем фильтрации пароплазменного потока дугового разряда для повышения качества формируемых покрытий
Рассмотрены особенности состава пароплазменного потока, генерируемого вакуумной дугой. Показана необходимость применения специализированных систем фильтрации, позволяющих очистить поток испаряемого вещества от микрокапельной составляющей. Приведен обзор наиболее распространенных систем для фильтрации потока плазмы, применяемых в современных вакуумно-дуговых установках. Продемонстрирована работа наиболее простой в реализации системы сепарации типа «жалюзи» при формировании алюмонитридных покрытий. Применение данной системы при относительно невысоких затратах на модернизацию технологической установки позволяет в значительной мере повысить качество наносимых покрытий, особенно в случае создания многослойных структур.
Авторы: Д. К. Кострин
Направление: Физика
Ключевые слова: дуговой разряд, нанесение покрытий, технологическая установка, микрокапли, фильтрация плазмы
Открыть полный текст статьи