Влияние внутреннего электрического поля на накопление подвижного заряда в МОП-структурах
C помощью разработанной количественной модели показано влияние внутреннего электрического поля на процесс накопления подвижного заряда в МОП-структурах. Рассчитано распределение подвижного заряда по глубине SiO2 при различных временах термополевого воздействия и концентрациях примеси. На примере ионов Na+ проведено сравнение численного расчета с аналитической и экспериментальной зависимостями. Показано, что при больших концентрациях примесных ионов наведённое ими внутреннее электрическое поле возрастает у поверхности катода и становится причиной избыточного накопления примеси на межфазной границе.
Авторы: О. В. Александров, Н. Н. Морозов
Направление: Физика
Ключевые слова: МОП-структура, подзатворный диэлектрик, подвижный ионный заряд, диффузия, термополевое воздействие
Открыть полный текст статьи