Особенности спектров испускания разряда магнетрона с металлической мишенью в среде аргона
Исследованы разряды на постоянном токе в аргоне магнетронов с металлическими мишенями. Изучение выполнено по спектрам испускания разряда. Установлено, что при увеличении тока разряда в диапазоне 0.5…6 А изменения интенсивности линий металла и аргона имеют экспоненциальный характер. При этом интенсивность линий металла аппроксимируется экспонентой с положительным показателем степени, а для линии аргона характерна экспонента, имеющая насыщение. Параметры аппроксимирующих функций зависят от давления аргона в виде полиномов первого порядка. Отмеченные особенности были обнаружены при изучении разряда магнетрона с мишенями из меди, титана и молибдена.
Авторы: Н. М. Иванов, В. И. Шаповалов
Направление: Физика
Ключевые слова: магнетрон, мишень, распыление, разряд, спектры испускания
Открыть полный текст статьи