Сокращение продолжительности наблюдения за кинетикой нагревания подложки при магнетронном распылении медной мишени
Исследованы тепловые процессы кинетики нагревания и остывания подложки при магнетронном распылении медной мишени. Для изучения кинетики тепловых процессов на подложках использован термопарный датчик с чувствительным элементом в виде медного диска. Установлено, что кинетическая зависимость нагревания носит экспоненциальный характер. Для сокращения продолжительности наблюдения за этим процессом может применяться метод экстраполяции кинетической зависимости в область стационарного состояния. В качестве критерия выбора сокращенного интервала наблюдений использована относительная погрешность экстраполяции. Предложена методика сокращения продолжительности эксперимента. Она носит универсальный характер для установок, схожих по своему типу и устройству с той, которая была использована в данном исследовании. Для ее применения в каждом практическом случае необходимо выполнить один продолжительный эксперимент, в котором процесс нагревания подложки достигает стационарного состояния.
Авторы: В. А. Павлов, В. И. Шаповалов, Д. С. Шестаков, А. В. Кочин, А. В. Рудаков, А. Е. Шабалин
Направление: Физика
Ключевые слова: Магнетрон, мишень, подложка, распыление, тепловой процесс
Открыть полный текст статьи