Подавление интерференции в структуре фоточувствительных приборов с переносом заряда с помощью слоя люминофора
Рассмотрены особенности структуры фоточувствительных приборов с переносом заряда, приводящие к возникновению в ней интерференции и, как следствие, к ухудшению метрологических характеристик спек-трометрического оборудования, построенного на основе таких фотоприемников. Расположение экстрему-мов осцилляции сигнала, вызванной интерференцией, определяется толщиной и показателем преломления пленки оксида на поверхности фотоприемника, а также регистрируемым спектральным диапазоном. Для того чтобы избавиться от волнообразной модуляции сигнала, требуется коррекция спектральной чув-ствительности. В данной статье проанализирована возможность подавления интерференции с помощью нанесения поверхностного слоя материала, обладающего сильным рассеянием. В качестве такого матери-ала был выбран люминофор К-77, осажденный на поверхность секции накопления фотоприемника. Экспери-ментально подтверждено, что предлагаемая методика позволяет не только добиться практически полно-го подавления интерференции, но также увеличить чувствительность фотоприемника к излучению уль-трафиолетового диапазона.
Авторы: А. А. Ухов, Д. К. Кострин, В. А. Герасимов, Л. М. Селиванов, В. А. Симон
Направление: Физическая электроника и технологии микро- и наноструктур
Ключевые слова: Фоточувствительный прибор с переносом заряда, оптический спектрометр, интерференция, люминофор, граница раздела сред, коэффициент пропускания, спектр излучения
Открыть полный текст статьи