Комбинированный метод измерения толщин прозрачных пленок
Решена задача повышения точности быстрых измерений толщин. Решение получено разработкой и применением специализированных алгоритмов математической обработки данных об интерференции. В единую цепочку обработки последовательно включены два метода измерений толщин: метод, основанный на подсчете периодов интерференции зондирующего излучения в пленке и метод, основанный на определении значений коэффициента отражения в выделенных дискретных углах падения зондирующего излучения на измеряемую пленку. Оба метода требуют предварительной известности коэффициента преломления материала прозрачной на длине зондирующего излучения пленки. Предложенный комбинированный метод определения толщин, реализованный на применимом для подсчета периодов интерференции зондирующего излучения в пленке оборудовании, повышает точность измерений толщин пленок многократно по сравнению с определением толщин, основанным только на подсчете количества периодов интерференции.
Авторы: И. В. Гончар, В. М. Цаплев
Направление: Приборостроение и информационно-измерительные технологии
Ключевые слова: Детектирование экстремумов, интерференционные измерения, алгоритм подсчета экстремумов, быстрое определение толщин, толщина пленки, повышение точности
Открыть полный текст статьи