Определение параметров газоразрядной плазмы с использованием синтезированных спектров излучения

Рассмотрено построение спектров излучения газоразрядной плазмы, синтезированных с использованием данных об электронных переходах в веществах в предположении локального термодинамического равновесия. Показана возможность использования данных спектров для упрощения анализа состава плазмы в процессе нанесения покрытий. Описаны возможности использования синтезированных спектров для определения параметров газоразрядной плазмы.

Авторы: Д. К. Кострин, М. С. Зятькова, А. Н. Рамазанов, А. А. Лисенков

Направление: Физические явления в твердых телах, жидкостях и газах

Ключевые слова: Газоразрядная плазма, спектр излучения, электронный переход, электронная температура


Открыть полный текст статьи