Лазерная микрообработка в производстве тонкопленочных солнечных модулей
Представлен обзор лазерных технологий, применяемых в производстве солнечных модулей. Основное внимание уделено рассмотрению технологии лазерной микрообработки, используемой в производстве многокаскадных тонкопленочных солнечных модулей большой площади на основе аморфного и гидрогенизированного кремния.
Авторы: Д. Н. Редька, В. А. Парфенов
Направление: Приборостроение и информационно-измерительные технологии
Ключевые слова: Тонкопленочные солнечные модули, лазерная микрообработка, лазерный отжиг, лазерное скрайбирование, лазерное структурирование
Открыть полный текст статьи