Влияние конструкции катода имплантера на сортовой и зарядовый состав ионного пучка
Показано, что применяя различные конструкции составных катодов с элементами с большой разницей в атомных массах и управляя временем горения дуги и тем самым регулируя количественное соотношение между имплантируемыми ионами, можно обеспечить равномерное легирование мишени на глубину до 450…600 нм.
Авторы: Е. В. Крылова, В. В. Овчинников
Направление: Физическая электроника и технологии микро- и наноструктур
Ключевые слова: Катод, имплантер, ионная имплантация, многокомпонентные пучки, сорт ионов, зарядность ионов
Открыть полный текст статьи