Интерференционный контроль изменения толщины плоских прозрачных объектов на основе полупроводникового лазера видимого диапазона
Разработан и исследован лазерный интерференционный измеритель изменения толщины плоских прозрачных объектов, основанный на физических принципах двухлучевой интерференции. Устройство включает в себя источник монохроматического излучения – полупроводниковый лазер, фотоприемное устройство на основе кремниевого фотодиода с двухкаскадным усилителем сигнала, а также блок отображения информации на базе USB-осциллографа, подключенного к компьютеру с необходимым программным обеспечением. Разработан алгоритм обработки информационного сигнала, позволяющий определять временные зависимости изменения толщины и температуры исследуемого объекта.
Авторы: А. С. Киселев, А. Е. Полоцкий, Е. А. Смирнов
Направление: Физическая электроника и технологии микро- и наноструктур
Ключевые слова: Интерференция, полупроводниковый лазер, изменение толщины
Открыть полный текст статьи