Эволюция технологии и материалов тонкопленочных полевых транзисторов

Рассматриваются основные этапы развития технологии тонкопленочных полевых транзисторов, начиная с первого патента Лилиенфельда, зарегистрированного в 1933 г., и до современных экспериментальных и промышленных приборов. Представлены наиболее значимые, с точки зрения тонкопленочной электроники, разработки на полупроводниковых солях (CdS и др.), элементарных полупроводниках (Si) и оксидах металлов (ZnO, SnO2 и др.). В качестве перспективной разработки выделено исследование возможностей создания прозрачных тонкопленочных транзисторов.

Авторы: Е. Ю. Плотникова, А. В. Арсентьев, А. А. Винокуров, С. И. Рембеза

Направление: История науки, образования и техники

Ключевые слова: Структура, материалы тонкопленочных полевых транзисторов, технология, металлооксиды


Открыть полный текст статьи